CASE STUDY 製品採用事例

PFAは極めて低い表面エネルギーを持つため、水や油、そしてCMPスラリーを強力にはじく優れた撥水性（非粘着性）を発揮します。これにより周辺部品にスラリーが付着しても表面で弾かれ、乾燥・固着するのを未然に防ぎます。スラリーの付着・堆積を軽減し、固着した研磨剤の塊が脱落して研磨面に巻き込まれるリスクの解消に繋がります。

PFAコーティングの滑らかな表面と強力な非粘着性（難付着性）は、日常のメンテナンス性を劇的に向上させます。付着したスラリーや汚れが表面に強固に固着しにくいため、軽めの水洗いや拭き取りだけで容易に除去が可能です。クリーンルーム内の厳格な環境管理下において、清掃作業の手間と時間を最小限に抑制します。

PFAはほぼすべての化学薬品に対して極めて高い耐薬品性（化学的安定性）を持っています。CMP工程で使用される強酸や強アルカリ、各種化学薬品に晒されても、表面が侵されたり劣化したりすることがありません。過酷な薬品環境から基材（部品）を保護できるため、部品の腐食や基材成分の溶出を徹底的に防止し、装置の大幅な長寿命化により保守頻度を低減します。

PFAは分子構造が極めて安定しており、コーティング材料自体に金属触媒や添加物をほとんど含まないため、高い清純性を誇ります。プロセス中に懸念される材料自体からの微量な金属イオン溶出やアウトガスの発生がほとんどありません。ウエハへの金属汚染による絶縁破壊やリーク電流などの動作特性不良を起こりにくくできるため、最先端の微細な半導体製造プロセスにおいても安全で理想的な仕様となります。

ヘッドパーツ表面の撥水性が劇的に向上したことで、飛び散ったスラリーが表面に滞留して乾燥・固着する現象がほぼゼロになりました。スラリーの塊が脱落して巻き込まれるトラブルが解消され、ウエハのキズ発生率（スクラッチ不良）が大幅に低下。研磨プロセスの安定性と良品率が飛躍的に向上しました。

「固着しても簡単に清掃できる」という現場の要求通り、付着したスラリーの清掃にかかる時間と負荷が劇的に改善されました。軽く洗い流すだけでスラリーをきれいに除去できるため、クリーンルーム内でのメンテナンス作業時間が大幅に短縮され、装置の稼働率向上に寄与しています。

今回の導入効果が高く評価され、PFAコーティング処理を施したヘッドパーツは、装置メーカー様の「公式標準パーツ（標準仕様）」として正式にご採用いただくこととなりました。さらに、この優れた非粘着・清掃性能が横展開され、スラリーが飛散しやすい周辺のカバー部品等、装置内の他パーツへも採用が拡大。装置全体の信頼性向上と、メンテナンス負荷低減に貢献しています。