半導体製造CMP（化学機械研磨）装置ヘッドパーツへのふっ素樹脂PFAコーティング適用｜スラリー固着防止と優れた清掃性で、ウエハのキズ不良低減と安定稼働を実現 品質安定安定稼働メンテナンス低減非粘着性耐薬品性/耐食性撥水性/撥油性半導体/電子部品ふっ素樹脂コーティング
