樹脂ワニスタンク・受けパンの清掃工数削減|セラミック系非粘着コーティング「Biceram 100」施工事例 生産性向上安定稼働メンテナンス低減非粘着性化学工業半導体/電子部品自動車/輸送機器Biceram
半導体製造CMP(化学機械研磨)装置ヘッドパーツへのふっ素樹脂PFAコーティング適用|スラリー固着防止と優れた清掃性で、ウエハのキズ不良低減と安定稼働を実現 品質安定安定稼働メンテナンス低減非粘着性耐薬品性/耐食性撥水性/撥油性半導体/電子部品ふっ素樹脂コーティング